第18章 设备故障 (第2/3页)
史平均值5.1%，外部缺陷率21.3%，高于历史平均值7.3%。”
“2区的裂片率、内外部缺陷率也会比历史平均值高一到两个百分点。”
“只是没
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史平均值5.1%，外部缺陷率21.3%，高于历史平均值7.3%。”
“2区的裂片率、内外部缺陷率也会比历史平均值高一到两个百分点。”
“只是没
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